序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统

1、适配飞秒激光光源，光源基本参数包括：

A）中心波长517±5nm；

2、设备提供加工操作软件和数据处理算法软件。软件既能支持光纤光栅加工，也能支持双光束超分辨直写。

3. 在光纤光栅加工时，支持划点和划线加工，点线间距、光栅周期可任意配置等功能。

320

2023年09月

无

2

L波段可调谐光源阵列

1. 波长调谐范围(nm）: 186.35—191.10THz

2. 1568.77—1608.76nm

3. 通道数：40

4. 单通道输出光功率(dBm): 10~15.5

5. 单通道功率调节步进(dB): 0.01

6. 单通道线宽(KHz): 100

7. 波长稳定性(GHz): ±2.5

8. 光功率稳定性(dB): 0.1~1.0

9. 工作温度范围 （℃）-10 ~﹢45

10. 电源 AC 220V

11. 尾纤类型：SMF (9/125um)

12. 光接口： LC / PC 型适配器

13. 显示方式: LCD 液晶触控显示

90

2023年09月

无

3

晶圆划裂片系统

(1)工作波长：1528.4-1566。9nm

(2)通道带宽：6.25 GHz

(3)0.5 dB通道带宽：± (6.25n-10) GHz

(4)3dB通道带宽：± (6.25n-5) GHz

（5）插损：小于等于6.5dB

（6）衰减设置时间：≤1000ms

(7)开关时间：≤1500ms

160

2023年10月

无

4

电子束蒸发镀膜机

1.电子束与热阻蒸镀；

2.溅射室极限真空度：≤6×10-5Pa

3.溅射室25分钟可达到5×10-4 Pa

4.系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa

5.真空室尺寸：500×500×600mm

6.基片尺寸：φ4英寸

7.基片转速：5～20 转/分，可连续回转

8.样品托：2个

9.基片与蒸发源距离：300～400mm，可电动调节

180

2023年10月

无

5

多路光电信号测试系统

1．主机4通道（同时）的模拟带宽20GHz

2．采样率40GS/s （4通道），80GS/s （2通道）

3. 本底噪声（50mV/div）: <0.3925%

4. 垂直分辨率：8bit

5. 存储深度： 64M（4通道）， 128M（2通道）

6. 信号输入接口：50欧姆； 1M欧姆

7. DC增益精度：1.5%

100

2023年10月

无