广东工业大学-采购招标中心

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将集成电路学院 2023 年 11至12 月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（万元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	双面对准光刻系统	适用于所有标准化的光刻应用，具备顶部和底部对准系统，可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台	316	2023年11月	无
2	原子层沉积系统	可通过原子层热沉积生长方式进行Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2等高K材料、阻变材料及原位电极材料的制备，可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台	223	2023年11月	无
3	氟化氙气相刻蚀机	用于对硅材料进行同向性刻蚀，能够实现对光刻胶、金属、化合物半导体等其它材料的高刻蚀选择比；可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台	220	2023年11月	无
4	超高真空多功能溅射镀膜系统	用于制备均匀性好、致密性高的半导体材料薄膜、金属薄膜、氧化物等其它材料薄膜；可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台	430	2023年11月	无
5	等离子体刻蚀机	用于单晶硅、非晶硅、SiO2、Si3N4、TaN、Al、Ta等薄膜材料的刻蚀，可支持6英寸单片晶圆并向下兼容；1台	310	2023年11月	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。